вакуумные системы

Описаны основные методы и приборы измерения общих и парциальных давлений в вакуумных системах, методы градуировки вакуумметрической аппаратуры, приведен обзор отечественных приборов. Для студентов старших курсов МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а та…

В книге рассматриваются методы расчета сложных вакуумных систем. Под сложной вакуумной системой понимается система, состоящая хотя бы из двух простых элементов. Книга утверждена на научно-техническом совете ФГУП «НИИВТ им. С. А. Векшинского» и рекоме…

Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устройства для измерения вакуума и определения его пар…

В курсе лекций изложены основные особенности расчета и проектирования вакуумных систем технологического оборудования, применяемого для получения металлических, полупроводниковых и композиционных материалов. Рассмотрена методика расчета низко-, средне…