bannerbanner
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Полная версия

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Скачать бесплатно книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники»

pdf
Спасибо за оценку! Будем признательны, если Вы оставите комментарий.
Добавить отзыв