Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Полная версия
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Жанр: учебники и пособия для вузовприборостроениеэлектроникаучебное пособие для студентовнанотехнологииконструирование оборудованиямикроэлектроникамикромеханикамикросистемная техника
Язык: Русский
Год издания: 2016
Добавлена:
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Скачать бесплатно книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники»
pdf