bannerbanner

Светлана Аркадьевна Козубняк

Книги автора: Светлана Аркадьевна Козубняк

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
0
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.…
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.…