Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.
Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологии.

учебная и научная литература

учебники и пособия для вузов

технические науки

материаловедение

электроника

знания и навыки

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Современное производство изделий микроэлектроники

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов

любовные романы

фэнтези

современная русская литература

современные любовные романы

современная зарубежная литература

детективы

об истории серьезно

приключения

книги о приключениях

ужасы / мистика

cтихи, поэзия

книги по психологии

стихи и поэзия

гуманитарные и общественные науки

русская классика

мистика

боевики, остросюжетная литература

публицистическая литература

Ты с рожденья выбран свыше.
Миру твой удел - нести добро,
 Зверя падшего сжигая зло.
Быть учеником тебе отныне!


сказки

Жизнь и приключение Нетеса

В мире Тенира, где магия и пророчества правят судьбами, сирота Кайл крадёт медальон, пробуждающий дух хранительницы Элианы. Артефакт ведёт его к Клинку Рассвета — оружию против Тьмы, поглотившей древних драконов. За клинком охотятся фанатики Культа Полумесяца, маги-предатели и Валтар — брат Кайла, ставший слугой Бездны.

С помощью Аэлины, эльфийки с тёмным прошлым, и Даррена, чародея с кровавыми долгами, Кайл бросает вызов проклятым лесам, летающим крепостям и мирам вне времени. Но сила клинка требует жертв: чтобы спасти Тенир, Кайл рискует стать тем, кого ненавидит.

Выбор между светом и тьмой, предательство брата и цена бессмертия — в эпичном фэнтези о том, как надежда рождается из пепла. Когда Тьма проснётся, лишь клинок решит, станет ли Кайл героем... или новой легендой ужаса...

книги про волшебников

фэнтези про драконов

Хроники Закатного Клинка

Серьезный современный бандит покупает привлекательную девушку и влюбляется в нее.

любовь и отношения

Сделка на счастье

Якутское имя Айяна означает «Путь».
Каждый рассказ в этом сборнике — тоже определенный путь, на который толкают героев искушение и страсть. К встрече или к разлуке, к эксперименту или к роковой ошибке, к проклятию или к любви.
Проследуй за ними и все увидишь своим глазами.

короткие любовные романы

эротические романы

эротические рассказы и истории

Когда цветёт липа

Третий день весны – день их знакомства и вместо подарка или каких-либо праздничных мероприятий она просит провести его с ней и поиграть в игру, которую она назвала: «день откровений». Этот день они проведут вдвоём, будут делать только то, что захотят, и он расскажет ей про свой тернистый, но исключительно правдивый путь к ней. Но что, если эта вполне безобидная на первый взгляд игра, окажется вовсе не такой, какой он себе её представлял? Ведь придёт время, когда настанет её очередь откровенничать и тогда перед ним откроется то, чего он предпочёл бы не знать. Будет ли его жизнь прежней и сможет ли он и дальше жить иллюзиями, которыми наполнено его сердце?

эротическая литература

От Я до А или коньяк, коты и сигареты

Однажды в канун Рождества Лева разыгрался, раздухарился и обнаружил себя на одном из знаменитых чердаков старого Парижа спящим сидя, прислонившись спиной к горячему дымоходу. Теперь он маленький трубочист Левка, весь черный от сажи, пробрался туда погреться. Но он там не один, а в компании таких же черных, как и он, чердачных драных котов... Рождество на крыше Парижа! Вот это приключение!

детская проза

книги для детей

книги для дошкольников

Лева, маленький трубочист в Рождественском Париже

Здравствуйте, дорогие мои читатели.
В этой книге представлены произведения, побуждающие к размышлениям о простом и вечном, о добре и зле, о благородности и подлости, и о многих других человеческих качествах, скрытых внутри нас.
Желаю приятного прочтения.
С уважением, Сергей.

фольклор

Мораль в простых истинах. Притчи

Полная версия

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Другие книги автора