Инженерно-физические основы микросистем

В работе описаны инженерно-физические основы подхода к описанию микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. Даны определения основным терминам, применяемым в микросистемной технике, краткая история развития микросистем и перечень характерных метрологических параметров. Приведен математический аппарат, необходимый для описания физики микро- и наносистем. Рассмотрены метрологические и технологические основы подхода к их проектированию, изготовлению и тестированию. Рекомендовано студентам всех вузов, обучающимся по специальностям «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника» и «Приборостроение».