Технология интегральных микросхем
Полная версия
Технология интегральных микросхем
Жанр: учебники и пособия для вузовфизикаэлектроникатехнологические процессынаноэлектроникамикроэлектроникатехническая физикамикросхемы
Язык: Русский
Год издания: 2023
Добавлена:
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».