Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Полная версия
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Скачать бесплатно книгу «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум»
fb2.ziptxttxt.ziprtf.zipa4.pdfa6.pdfepubfb3