Формирование функциональных слоев

Полная версия
Формирование функциональных слоев
Язык: Русский
Год издания: 2020
Добавлена:
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Скачать бесплатно книгу «Формирование функциональных слоев»
fb2.ziptxttxt.ziprtf.zipa4.pdfa6.pdfepubfb3