Основы технологии электронной компонентной базы

Полная версия
Основы технологии электронной компонентной базы
Язык: Русский
Год издания: 2022
Добавлена:
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Скачать бесплатно книгу «Основы технологии электронной компонентной базы»
fb2.ziptxttxt.ziprtf.zipa4.pdfa6.pdfepubfb3