Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов

Полная версия
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовхимияобщая химияфизическая химияэлектроникананоэлектрониказнания и навыки
Язык: Русский
Год издания: 2023
Добавлена:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Скачать бесплатно книгу «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов»
fb2.ziptxttxt.ziprtf.zipa4.pdfa6.pdfepubfb3