Материалы электронной техники. Диэлектрики

Работа подготовлена на кафедре полупроводниковых приборов и микроэлектроники для студентов II курса факультета РЭФ направлений подготовки: 11.03.04 – Электроника и наноэлектроника, 28.03.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника.