bannerbanner
Микроэлектромеханика
Микроэлектромеханика

Полная версия

Микроэлектромеханика

Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.

Скачать бесплатно книгу «Микроэлектромеханика»

fb2.ziptxttxt.ziprtf.zipa4.pdfa6.pdfepubfb3
Спасибо за оценку! Будем признательны, если Вы оставите комментарий.
Добавить отзыв