Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Полная версия
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
Скачать бесплатно книгу «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий»
pdf
