Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Полная версия
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Жанр: учебная и научная литератураучебно-методические пособиятехнические наукизнания и навыкивысокие технологии
Язык: Русский
Год издания: 2018
Добавлена:
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
