Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Полная версия
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Язык: Русский
Год издания: 2018
Добавлена:
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Скачать бесплатно книгу «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев»
pdf
