Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Полная версия
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
текст
Оценить:
0
О книге
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Скачать бесплатно книгу «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев»
Читать онлайн «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев»
Добавить отзыв
Спасибо! Ваш отзыв был отправлен на модерацию.