Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Полная версия
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Жанр: техническая литератураучебно-методические пособияэлектроникакниги для студентов и аспирантовмикроэлектроникаматематическое и компьютерное моделированиеполупроводникимикросхемы
Язык: Русский
Год издания: 2014
Добавлена:
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.