Chemical Mechanical Planarization (CMP) plays an important role in today's microelectronics industry. With its ability to achieve global planarization, its universality (material insensitivity), its applicability to multimaterial surfaces, and its relative cost-effectiveness, CMP is the ideal planarizing medium for the interlayered dielectrics and metal films used in silicon integrated circuit fabrication. But although the past decade has seen unprecedented research and development into CMP, there has been no single-source reference to this rapidly emerging technology-until now. Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials provides engineers and scientists working in the microelectronics industry with unified coverage of both the fundamental mechanisms and engineering applications of CMP. Authors Steigerwald, Murarka, and Gutmann-all leading CMP pioneers-provide a historical overview of CMP, explain the various chemical and mechanical concepts involved, describe CMP materials and processes, review the latest scientific data on CMP worldwide, and offer examples of its uses in the microelectronics industry. They provide detailed coverage of the CMP of various materials used in the making of microcircuitry: tungsten, aluminum, copper, polysilicon, and various dielectric materials, including polymers. The concluding chapter describes post-CMP cleaning techniques, and most chapters feature problem sets to assist readers in developing a more practical understanding of CMP. The only comprehensive reference to one of the fastest growing integrated circuit manufacturing technologies, Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials is an important resource for research scientists and engineers working in the microelectronics industry. An indispensable resource for scientists and engineers working in the microelectronics industry Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials is the only comprehensive single-source reference to one of the fastest growing integrated circuit manufacturing technologies. It provides engineers and scientists who work in the microelectronics industry with unified coverage of both the fundamental mechanisms and engineering applications of CMP, including: * The history of CMP * Chemical and mechanical underpinnings of CMP * CMP materials and processes * Applications of CMP in the microelectronics industry * The CMP of tungsten, aluminum, copper, polysilicon, and various dielectrics, including polymers used in integrated circuit fabrication * Post-CMP cleaning techniques * Chapter-end problem sets are also included to assist readers in developing a practical understanding of CMP.

научно-популярная литература

знания и навыки

Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

любовные романы

фэнтези

учебная и научная литература

современная русская литература

современные любовные романы

современная зарубежная литература

детективы

об истории серьезно

приключения

книги о приключениях

ужасы / мистика

учебники и пособия для вузов

cтихи, поэзия

книги по психологии

стихи и поэзия

гуманитарные и общественные науки

русская классика

мистика

боевики, остросюжетная литература

публицистическая литература

Рассказ, который читает Эшрод, главный герой романа "Дорогая синева небес".

легкая проза

Овца, нажимающая кнопку

Мир Элдора утопал в предрассветной дымке. Густые леса, укрывавшие древние руины, шептались на ветру, нашиптывая секреты давно ушедших эпох. Эльфы, словно тени, скользили по тропам, их глаза, словно изумруды, вглядывались в таинственный лес. Гномы, ковавшие оружие в недрах гор, чувствовали дрожь в камне – предзнаменование надвигающейся беды. Но ни эльфы, ни гномы, ни даже самые могущественные маги не могли предвидеть, что грядет. Не могли понять, что за трепет охватил землю, когда небо вдруг раскололось, подобно разбитому зеркалу. В тот миг, когда солнце готовилось озарить мир, из разлома, искрящегося электрическими разрядами, вырвалось нечто ужасающее. Нечто, что не принадлежало ни Элдору, ни какому-либо другому известному миру.
Из вихря искаженного эфира возникла тьма. Не просто тьма, а нечто, пожирающее свет, – трехногий гигант, ощетинившийся блестящими, смертоносными орудиями. Металлическая громадина, чуждая магии и жизни, ступила на землю, и от ее шагов дрожала земля...


боевая фантастика

боевое фэнтези

Война Миров: Сквозь времени

Десять лет мира изменили Хогвартс и Филча. Случайная встреча с плачущей ученицей пробуждает в нём сочувствие. Он находит записи сквиба, мечтавшего о магии, и решается на эксперимент. С помощью Флитвика и Шеклболта Филч обретает силу, но необычную. Из мрачного смотрителя он становится учителем и другом, находя смысл в новом призвании. История о преображении, о надежде и о том, что магия может найти каждого.

фанфик

Пыль и воспоминания

Этот раздел представляет собой сборник ужинов, специально подобранных с учетом потребностей поддержания здорового пищеварения и благоприятного воздействия на микробиом кишечника. Рецепты включают в себя разнообразные ингредиенты, богатые клетчаткой, витаминами, минералами и пробиотиками, которые способствуют нормализации работы ЖКТ, улучшают микробиом и укрепляют иммунитет.

Каждое блюдо характеризуется сбалансированным составом, подходящим для легких, но питательных ужинов, которые не перегружают организм перед сном. В рецептах используются продукты, обладающие противовоспалительными и очищающими свойствами, такие как овощи, бобовые, зерновые, специи и ферментированные продукты. Они помогают поддерживать нормальную работу кишечника, улучшать переваривание пищи и способствуют детоксикации.

Рецепты легко адаптируются под различные предпочтения в питании, включая вегетарианские и веганские варианты. 

общественное питание

здоровье

здоровое и правильное питание

Питание кишечника: Ужины

С чего именно начинается первая любовь? С глупой записки? Со слёз подруги? Кто знает...

короткие любовные романы

Когда цветут сады

Этот сборник рецептов предлагает разнообразные и вкусные блюда для здорового и сбалансированного питания. Включает в себя как мясные, так и вегетарианские рецепты, рассчитанные на разные предпочтения и диетические нужды. Все рецепты легко приготовить и использовать в повседневном рационе, а их калорийность позволяет контролировать количество потребляемых калорий без ущерба для вкуса и питания.

Среди представленных блюд можно найти такие варианты, как запеченные рыба и мясо, салаты, супы, а также блюда с крупами и овощами, что способствует правильному пищеварению и поддерживает здоровье кишечника. Каждый рецепт содержит подробное описание ингредиентов, калорийности и шагов приготовления, что делает процесс готовки простым и доступным для всех.

Данный сборник подходит для людей, которые хотят разнообразить свой рацион и соблюдать принципы здорового питания, а также тех, кто ищет вкусные и легкие в приготовлении блюда на каждый день.

Питание кишечника: Обеды

Сборник рассказов о взаимоотношениях между мужчиной и женщиной.
Философские.
Юмористические.
Психологические.
Все эти аспекты присутствуют.

Мужчина и Женщина. Эпоха недопонимания

Полная версия

Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

Другие книги автора