Chemical Mechanical Planarization (CMP) plays an important role in today's microelectronics industry. With its ability to achieve global planarization, its universality (material insensitivity), its applicability to multimaterial surfaces, and its relative cost-effectiveness, CMP is the ideal planarizing medium for the interlayered dielectrics and metal films used in silicon integrated circuit fabrication. But although the past decade has seen unprecedented research and development into CMP, there has been no single-source reference to this rapidly emerging technology-until now. Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials provides engineers and scientists working in the microelectronics industry with unified coverage of both the fundamental mechanisms and engineering applications of CMP. Authors Steigerwald, Murarka, and Gutmann-all leading CMP pioneers-provide a historical overview of CMP, explain the various chemical and mechanical concepts involved, describe CMP materials and processes, review the latest scientific data on CMP worldwide, and offer examples of its uses in the microelectronics industry. They provide detailed coverage of the CMP of various materials used in the making of microcircuitry: tungsten, aluminum, copper, polysilicon, and various dielectric materials, including polymers. The concluding chapter describes post-CMP cleaning techniques, and most chapters feature problem sets to assist readers in developing a more practical understanding of CMP. The only comprehensive reference to one of the fastest growing integrated circuit manufacturing technologies, Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials is an important resource for research scientists and engineers working in the microelectronics industry. An indispensable resource for scientists and engineers working in the microelectronics industry Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials is the only comprehensive single-source reference to one of the fastest growing integrated circuit manufacturing technologies. It provides engineers and scientists who work in the microelectronics industry with unified coverage of both the fundamental mechanisms and engineering applications of CMP, including: * The history of CMP * Chemical and mechanical underpinnings of CMP * CMP materials and processes * Applications of CMP in the microelectronics industry * The CMP of tungsten, aluminum, copper, polysilicon, and various dielectrics, including polymers used in integrated circuit fabrication * Post-CMP cleaning techniques * Chapter-end problem sets are also included to assist readers in developing a practical understanding of CMP.

учебная и научная литература

научно-популярная литература

зарубежная образовательная литература

знания и навыки

Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

любовные романы

фэнтези

современная русская литература

современные любовные романы

современная зарубежная литература

детективы

об истории серьезно

приключения

книги о приключениях

ужасы / мистика

учебники и пособия для вузов

cтихи, поэзия

книги по психологии

стихи и поэзия

гуманитарные и общественные науки

русская классика

мистика

боевики, остросюжетная литература

публицистическая литература

Обычная девочка оказалась втянутая в войну между добром и злом, станет ли она тем самым лучом света во тьме?

фанфик

Звëздные воины I Рассвет юной легенды

Ранобэ «Shadows of the past» повествует о жизни Такуми, молодого человека, который переживает сложные времена после потери близкого человека. В центре сюжета — его взаимоотношения с окружающими, в частности с Юи и Сакурой, а также борьба с внутренними демонами и попытками найти новое счастье.

Такуми работает официантом, учится в художественной школе и пытается справиться с эмоциональными ранами прошлого. Его путь к исцелению переплетается с историями других персонажей, включая его друзей Сатоши и Сакуру, которые также ищут своё место в жизни и пытаются разобраться в своих чувствах.

пьесы и драматургия

Тени прошлого

В небольшом провинциальном городке, где каждый год с нетерпением ждут празднования Рождества, появляется странное пугало в костюме Санта Клауса. Изначально созданное для защиты рождественских водяных арбузов, это пугающее украшение начинает привлекать внимание местных жителей. Однако вскоре окружающая его атмосфера начинает меняться: кто-то шутит, что пугало обладает магической силой, а кто-то верит, что оно приносит несчастья.

Когда исчезает пропавшая приготовления к празднику, а горожане начинают сталкиваться с необъяснимыми событиями, группа подростков решает разоблачить тайну пугала и выяснить, что же на самом деле происходит в их маленьком городке. Путешествуя по темным улицам и разгребая загадки прошлого, они открывают невидимую связь между пугалом, их собственными страхами и предрассудкам.




иронические детективы

детективное фэнтези

«Санта, который исчез»

Если бы не они – город превратился бы в ад, захлебнувшись в собственной крови. Каждые два часа они рискуют своими жизнями, защищая других. Забойщики. Отдушина для феномена, названного Превращением, жуткой реалии крупных городов. Он – один из них. Немного особенный, очень серьезно относящийся к своей работе. Он не путается понять Превращение, он просто старается воплотить в жизнь девиз его касты: "Никто не умрет". Но чтобы одни жили, другие должны умирать…

боевики

городское фэнтези

Люди ли зомби?

Тхарны пришли из пустоты космоса. Материализовались близ орбиты Земли, страны которой еще только готовились покорять звезды, но все никак не могли научиться жить в мире между собой, потребовали немедленной капитуляции всех сил орбитальной обороны и, получив отпор, молниеносно и жестко подавили сопротивление, просто сметя хлипкую и разрозненную оборону планеты. Но практически сразу после этого тхарны ушли. Почему? Быть может, на одной из орбитальных крепостей они столкнулись с чем-то, что заставило их отступить? В поисках разгадки лучший телепат России должен погрузиться в мозг единственного выжившего в космической мясорубке - 14-летнего мальчика.

космическая фантастика

Новгород

Гольяново. Согласно неумолимой статистике - самый криминальный район Москвы. Именно в нем ночами видят странных черных голубей, свободно ориентирующихся в темноте и не боящихся людей. 
Журналист и его близкий друг отправляются на ночную прогулку по Гольяново, разыскивая пернатую сенсацию. Гадая, что такое эти черные голуби: случайная мутация, новый вид или вообще плод чьего-то воображения? Но то, что они найдут и свидетелями чего станут, они не могли даже вообразить!

триллеры

Приход отца

Когда на затылке шевелятся волосы – это еще не страх. Когда на тебя направлен ствол пистолета – это еще не страх. Когда у твоего виска свистят пули – даже это еще не страх. Настоящий страх сидит глубже, настоящий страх приходит, когда ты понимаешь: "Что-то не так…" Настоящий страх – это когда ее плечо холоднее воздуха.

ужасы

Холодное плечо

Полная версия

Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

Другие книги автора