Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10–10 см), минимальный разброс ионов по энергиям (Δei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10 ÷ 10 Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ЮР для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD.
За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого – систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.



техническая литература

нанотехнологии

наноматериалы

микроэлектроника

физика плазмы

технические справочники

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей

Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

современная русская литература

современные любовные романы

современная зарубежная литература

книги о приключениях

учебники и пособия для вузов

стихи и поэзия

русская классика

мистика

любовное фэнтези

биографии и мемуары

современные детективы

короткие любовные романы

сказки

попаданцы

литература 19 века

научная фантастика

саморазвитие / личностный рост

триллеры

публицистика

зарубежная классика

Это история о войне, любви и силе человеческого духа, разворачивающаяся на фоне одного из самых страшных сражений Второй мировой — Сталинградской битвы.
Летчик Сергей Волков, чудом выживший после падения самолета, и Людмила, медсестра, спасающая жизни в осажденном городе, связаны обещанием, данным в последний мирный день. Их любовь становится нитью, которая ведет героев через ад: Сергею предстоит пройти сотни километров по вражеской территории, спасаясь от спецотряда СС, а Людмиле — выстоять среди руин, где каждый день становится битвой за человечность.
Это роман о том, как даже в кромешной тьме можно найти свет — в воспоминаниях, в хрупкой ласточке-кулоне, в обгоревших страницах «Евгения Онегина», в яблоне, проросшей сквозь пепел. О том, что война может отнять всё, кроме надежды. И о том, что настоящая победа начинается, когда ты выбираешь жизнь, даже если ради этого нужно пройти через смерть.

исторические любовные романы

книги о войне

историческое фэнтези

Небо, разорванное ласточками

Привет, мой юный корнет... Многообещающее начало для новой жизни и новой любви после череды разочарований современной бизнес-леди, которая привыкла надеяться только на себя. Но в вихре переплетений жизненных ситуаций нашей героине любовного треугольника пришлось сделать сложный выбор, прежде чем принять саму себя и преодолеть свои страхи и триггеры. Не всё безнадежно в жизни, если захотеть любить... и не только себя. Это любовная история для тех, кто не боится рисковать и, как результат, получает свой заслуженный джекпот.

Привет, мой юный корнет, или Есть ли любовь после…

Относительно недалекое будущее в относительно недалеком космосе. Человечество наконец-то мирно сосуществует с несколькими десятками разумных космических рас... Но этот прекрасный, похожий на изысканную оранжерею новый мир создан и управляется искусственным интеллектом, имеющим абсолютную власть, и только самые могущественные силы природы могут на равных вести с ним диалог... 
Человеческие отношения регламентированы. Дети появляются из пренатальных капсул в лабораториях эктогенеза. Пожизненная психотерапия обязательна для всех граждан. Понятие свободы определяется числом баллов социального рейтинга. Но дружба и любовь существуют даже в условиях антиутопии… 

Данная книга не призывает к употреблению наркотиков, алкоголя и сигарет. Для получения помощи в борьбе с зависимостями следует обращаться к врачам.
Автор не всегда разделяет высказывания, мнения и этику персонажей.
Любые совпадения с реальными людьми, событиями, обстоятельствами являются случайностью. 

космическая фантастика

Космическая оранжерея Лиги Содружества

Данная работа посвящена эпохе правления военной хунты в Чили в 1973-1990 годах и, в частности, государственной деятельности генерала Аугусто Пиночета и его диктатуре.
Помимо прочего, в книге содержится краткий обзор внутриполитической ситуации в стране непосредственно перед и после переворота, а также рассмотрены тенденции развития чилийского законодательства в указанный период.

историческая литература

международное право

Законодательство Пиночета и военная диктатура в Чили

Пушкин Александр Сергеевич – ремесленник, мистик и поэт 1978 года рождения, не нашедший своего места в общественной системе Азирии, и вошедший в конфронтацию с моралью политиков и священнослужителей, чтобы стать символом и рупором восстания анархистов на площади имени Пушкина под руководством Дамы в Розовых Очках, и президент государства Азирия − Меркурий Валерьевич Керенский, в тело которого вселился дух замученного палачами 18 летнего музыканта Маx’a, узнавшего не только секреты государственной важности, но и личные тайны правителя страны, − все они, вместе со знакомыми уже читателю героями романа и новыми персонажами, завязаны в клубок общих проблем и чаяний, а так же противоречий и взаимной ненависти. 
Внимание, читатель: роман содержит сцены яркого эротического раскрепощения, и я надеюсь, они вдохновят вас на более свободное восприятие мира. Поэтому отбросьте предубеждения, и смело следуйте за приключениями героев второй книги романа.

эротические романы

ужасы

Незаконные похождения Max'a и Дамы в Розовых Очках. Книга 2

Начало великого пути донских героев, которым суждено вступить в неравный бой со злом и раскрыть все тайны истории Донского края.

героическая фантастика

русское фэнтези

героическое фэнтези

Swart Flame. Начало

Считается, что Кармические Отношения самые долгие и крепкие. Это не так. По закону Кармы мы притягиваем в свою жизнь тех людей и те события, с которыми имели самые сильные энергетические и эмоциональные связи в прошлых воплощениях, и остались что-то должны. Самых любимых людей и самых непримиримых врагов, убийц, насильников. 
Вступая в Кармические Отношения, мы отрабатываем личную и совместную Карму. Это может занять несколько мгновений, а может растянуться на годы. Отработав долги, партнёры могут быть свободны. 
Анализируя проблемы Кармических союзов, мы вывели 12 типов связей, которые описали в книге. Поняв, какой сценарий проходит пара, можно перевести их отношения в более позитивный вариант, или завершить связь. 
Даже тем, кто пока не знаком с Нумерологией, будет понятно всё, что написано в этой книге. А по прочтении, можно будет сразу самостоятельно провести кармический анализ своих отношений, а также сделать это для других пар.

Полная версия

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Другие книги автора