Юрий Александрович Кальгин

Учебное пособие состоит из шести базовых модулей, а также трех дополнительных модулей для групп с более высоким уровнем языковой подготовки и для магистрантов. Тексты первых трех модулей посвящены микроэлектромеханическим системам и устройствам (MEMS…