Евгения Владимировна Мараева

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Освещены процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов, основные виды эпитаксиальных технологий. Со…