Юрий Борисович Цветков

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микро…

Показаны роль и значимость учебников и учебных пособий в структуре учебно-методического обеспечения инженерного образования. Рассмотрены основные этапы их проектирования с учетом современных требований к качеству обучения в высшей школе и научно-техн…