Александр Давидович Бялик

Работа подготовлена на кафедре полупроводниковых приборов и микроэлектроники для студентов II курса факультета РЭФ направлений подготовки 11.03.04 – Электроника и наноэлектроника, 28.03.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника.

В учебном пособии даны базовые понятия и методы расчета сопротивления материалов, рассмотрены примеры технической реализации ряда микромеханических систем. Приведены примеры расчета напряженно-деформированного состояния балочных упругих элементов. По…

Работа подготовлена на кафедре полупроводниковых приборов и микроэлектроники для студентов II курса факультета РЭФ и утверждена Редакционно-издательским советом университета в качестве учебно-методического пособия