bannerbanner

Дмитрий Владимирович Духопельников

Книги автора: Дмитрий Владимирович Духопельников

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
0
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с элект…
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с элект…