Валерий Павлович Михайлов

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плак…

Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видеомате…

Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе электровакуумных и полупроводниковых приборов. Описаны основные физические явления при вакуумировании корпусов приборов, формировании потоков заряженных…