Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Полная версия
Технологии субмикронных структур микроэлектроники
текст
0
Жанр: учебники и пособия для вузовматериаловедениеэлектроникананотехнологиинаноэлектроникамикроэлектроникаполупроводники
Язык: Русский
Год издания: 2019
Добавлена:
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
